竹科某半導體廠廿七歲陳姓助理工程師，十五日晚間單獨進入無塵室維修晶圓機台，疑將氧氣管錯接氮氣管，導致吸入過多氮氣昏迷，送醫不治。檢警初步相驗是窒息死亡。不過，家屬說死者工作三年，不太可能接錯管子，質疑公司管理有疏失，應負起責任。檢警決定明天解剖釐清死因。

檢警調查，竹科半導體廠助理工程師陳偉杰（彰化人），十五日晚間上小夜班，十時許進入無塵室，準備進行維修機台。不過，公司規定須由兩名工程師同行進入無塵室，陳某未依標準作業程序，獨自一人進入。

陳某進入充滿氮氣的晶圓機台無塵室時，不知何故誤將氧氣管錯接到氮氣管，他又不察瞬間吸入過多的氮氣，立即窒息昏倒。同事發現後緊急送往馬偕醫院新竹分院救治，前天清晨回天乏術。

檢警昨天進行相驗，初步研判死者吸入過多氮氣，導致缺氧窒息死亡。死者家屬向檢警說，陳某工作三年多，接錯管子的機率低，懷疑公司未將氮、氧氣的管子明顯區分，且未落實由兩名工程師同行進入無塵室的標準作業程序，導致陳某意外死亡。

據在半導體廠的資深工程師表示，晶圓機台無塵室裡充滿氮氣，進入裡面工作或維修都必須戴氧氣罩，否則容易吸入過多氮氣，缺氧導致窒息。

醫師也說，空氣中氮、氧氣比例約為八比二，若吸入純氮會讓血液中無法作氧氣交換，造成缺氧導致窒息。人一分鐘沒氧氣就會昏厥，大腦在三至五分鐘就會造成腦死。　公司低調地表示，廠區確實發生一起工安意外，不清楚原因。