準力機械成立至今已有20多年,專精於研發製造各式平面磨床。半導體與光電產業之遠景,與日本知名廠商技術合作,積極致力於研發光電元件之創新製程,而新開發成功的高精密JL-300SCG晶瓷加工機新產品,針對晶圓、陶瓷、石英、玻璃及寶石等硬脆材料磨削加工而研發新產品,具備了特殊加工性能。於26日在台中自動化機械展覽(水湳機場)公開展出。

準力公司負責人林馨堂表示,新推出可應用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃及寶石等硬脆材料磨削加工的JL-300SCG晶瓷加工機。其開發構想是利用立式磨床加工原理,將鑽石砂輪鎖固在氣浮式主軸,針對表面精度及平面度要求極高的硬脆材料,執行立式磨削加工,工作台面加工尺寸已有ψ200及ψ300mm的選擇。

晶瓷加工機系列採內藏式馬達氣靜壓主軸及氣浮式陶瓷工作台,迴轉精度均達0.1μm。進給解析度為0.1μm,Z軸快速進給為300mm/min,控制器則選用FANUC Oi全數位控制系統。事實上,晶圓製程所要求的嚴格平面度及表面粗糙度,唯有使用氣浮式主軸配合鑽石砂輪,將吸附於氣浮式工作台面的晶圓進行研磨加工,才能達到所要求的精密度。網址:www.joenlih.com.tw。