三星电子近期为争抢极紫外光(EUV)设备,高层频频传出密访ASML。继三星电子副会长李在镕(Lee Jae-yong)10月亲自赴荷兰拜会ASML执行长Peter Wennink后,又再度传出Peter Wennink近期回访三星,洽谈EUV设备採购事宜,展现三星要跟台积电争抢半导体先进制程市场决心。

外电报导指出,Peter Wennink上周访问三星半导体,讨论后续EUV设备供给及未来合作发展事项,且三星期许ASML加大EUV设备供货力道,并讨论次世代EUV设备开发项目。

据了解,李在镕早在10月就亲赴荷兰拜访ASML,并传出当时目的就是为了希望ASML能够加快EUV设备供给力道,因此本次ASML执行长Peter Wennink回访三星实属商业上的「礼尚往来」。

外电报导也指出,ASML目前已经生产及接单的EUV设备大约落在70台左右水准,台积电已经获得过半设备,三星才获得10台,虽然李在镕亲自出访ASML,也才多获得9台,仅接近台积电当初甫跨入EUV世代的水准,使三星先进制程晶圆供给量远低于台积电。

供应链指出,目前三星在7奈米先进制程当中,仅有高通一家客户使用到EUV设备,且在下半年才开始逐步量产,放量出货时间点将落在2021年上半年,对比台积电早在2020年初就开始量产7+奈米制程,且下半年更全面供给苹果5奈米制程应用处理器(AP),且2021年又有6奈米制程将步入量产,显示三星半导体先进制程供给量远输台积电。

事实上,半导体逻辑制程技术进入到7奈米以下后,由于线宽过细,因此需要EUV设备做为曝光媒介,全球当前进入或计画7奈米世代的晶圆厂仅剩台积电、三星及英特尔,且全球仅有ASML作为EUV设备的供给商,因此在EUV设备供给有限之时,ASML便成为三大晶圆代工厂的必争之地。

除此之外,不仅逻辑晶圆制程需要EUV设备之外,就连未来量产DRAM也需要EUV设备,因此除了台积电、三星及英特尔等晶圆厂争抢EUV,后续包含美光、SK海力士也需要大量EUV设备,更让ASML的EUV设备成为炙手可热的产品,在逻辑晶片及DRAM量产等双重压力下,让三星在EUV设备取得上有着不能输的压力。

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