藉由双鎗型离子束显微镜,未来交通大学研究人员可直接于8吋晶圆上进行取样,透过离子束精确的剖析,影像解析度可达4奈米,运用扫描式电子显微镜即时观察,大幅提升材料分析效能与成功率。
台积电自2015年起推动产学合作研究专案(Joint Developing Project),2019年共投入逾1.13亿元年度研究经费,与7所国内大学与15所海外大学展开79件产学合作研究专案,累计超过百件美国专利申请。
台积电品质暨可靠性组织身为计画重要一环,携手国内顶尖大学,透过提供研究经费、实验样本,并视校方资源协助强化教学硬体设备,协助师生深入半导体尖端技术研究。截至2020年,品质暨可靠性组织与5所合作大学共完成16项研究专案,主题范畴涵盖材料、制程与晶片设计等,部分研究成果已导入台积电先进制程开发流程。
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