美方让步 中芯採购ASML设备

综合陆媒报导，儘管美方在半导体先进制程上仍未对中芯松绑，但在成熟制程上的放松已有利中芯的营运预估。大陆业内资深人士表示，中芯3日公告显示，在美方有条件松绑下，除了EUV曝光机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的曝光机，包括DUV（深紫外）曝光机。

报导指出，美国商务部在2020年12月18日以与中国军方有关联为由，宣布将中芯国际等80家陆企列入实体清单，今后没有美方许可证，美企不得销售10奈米及以下制程技术给中芯。中芯国际当时公告表示，预估被纳入清单将对公司10奈米及以下先进制程的研发及产能建设，有重大不利影响。

之后中芯试图突破美国封锁线。2020年12月，有外媒传出，在台积电前营运长、中芯新任副董事长蒋尚义牵线下，中芯将寻求与艾司摩尔就EUV曝光机设备进行谈判。

至2021年2月，据供应链人士的说法，大陆晶圆代工龙头中芯国际的美国设备厂商，已获得供应中芯14奈米及以上（14奈米及28奈米等成熟制程）的设备供应许可。摩根士丹利2月25日发报告指出，美国设备供应商近期已经恢復对中芯国际的零组件供应与现场服务，一定程度上缓解外界对于中芯消耗品储备及设备的售后担忧。