科毅黄光制程设备 大厂青睐

文╱江富满

定位为黄光制程设备及材料专家、半导体暨光电设备制造商的科毅科技，拥有创新及小型化之优势，设备具有高性价比、高效能、高精度及自动化等特性，获得半导体先进封装、主被动元件、触控面板、光电显示器、背光模组、太阳能、LED等产业指定採用。

该公司表示，科毅除能提供专业的黄光设备〔清洗、涂布、曝光（光刻）、显影、蚀刻机台、玻璃光罩设计…等新／中古设备〕，更可提供客户洁净且完善的黄光实验室，并经由专业团队的研发与实验，推出符合客户需求的客制化黄光机台设备。

科毅科技今年将陆续推出一系列先进设备，包括：1、风刀式奈米级光罩除尘机（MCS）：能有效降低落尘数，取代传统冲洗流程，延长光罩寿限，减省制造成本及时间，应用于3～5奈米EUV Reticle，同时兼容DUV Reticle。2、无光罩雷射直写曝光机（LDI）：减少光罩使用，降低成本，适用少量多样产业，提供半导体封装客户需求。3、新型UV LED曝光头：增进图形、线条精准度及准直性，具有省电、省耗材、省工时、寿命长等特色。4、超薄型石英晶圆（涂布、UV曝光机、显影、光阻烘烤）全自动设备，应用于晶体振盪器市场。5、专利矩形循边晶背清洗机、晶圆翘区整平平台、深沟显影补助风刀等机构导入半导体封装产业之显影扩展。6、模组化半自动曝光机：低成本、高利润，有利于大量标准化生产。

该公司指出，科毅目前主要客户遍及国内上市柜大厂包括日月光、联颖光电、友达光电、群创光电、中强光电、崇浩光电、台湾晶技、台湾光罩、台湾生捷、奇美电子／实业及中研院、工研院、台大、清华、阳明交通…等学术研究机构，在疫情趋缓，国际贸易恢復正常商业活动后，将进军中国及东南亚市场，持续扩大市场占有率。