滤能AMC方案超前部署 搭绿色制程潮

半导体绿色制程方案厂滤能专注于微污染防治等绿色制程市场，将于6月下旬挂牌上柜，董事长黄铭文表示，滤能成立之初就锁定绿色制程应用领域，为半导体产业客户提供无尘室悬浮气态污染物（AMC）解决方案，滤能在模组化学滤网应用领域有多项产品专利，在国内10奈米以下先进制程市场占有率已近五成。

滤能去年合併营收8.29亿元，毛利率28.7％，税后净利0.97亿元，每股净利5.46元。今年第一季合併营收年增61.7％达2.48亿元，税后净利年增91.6％达0.14亿元，每股净利0.78元。法人预期滤能今年营收将突破10亿元大关，年度获利将续创新高。

晶圆代工龙头台积电近年来积极转换採用绿色制程，并在去年向供应商提出将会把供应链碳足迹与减碳绩效纳入其重要採购指标，要求其供应商在2030年前必须节能20％，若无法达成要求恐将失去订单。至于旺宏、美光、南亚科等记忆体厂，新建生产线亦优先採用绿色制程，滤能因此直接受惠。

滤能总经理黄气宝表示，AMC防治是半导体先进制程不可忽视的议题，尤其是制程微缩至5奈米以下，大约只要5～17个污染气体分子沉积就可占满5奈米线宽并造成良率降低，而且随着半导体电晶体结构在3奈米或2奈米转换至环绕闸极（GAA），微污染对良率影响更加敏感，所以AMC防治已是维持先进制造环境洁净度不可或缺的重要绿色制程方案。

黄气宝表示，滤能环保组合式滤网AMC方案能大幅度降低客户滤网耗材成本，减少大量碳足迹对环境的衝击，并提出次世代产品可回收的循环经济，除了框体／滤材重复使用可减少60％以上废弃物外，不可再次使用的滤材也可以再制成RDF燃料棒用于生质能发电，燃烧后的底渣也可以制成环保高压砖或是水泥添加物，达到100％回收、零废弃物的循环经济。