滤能表示,AMC防治是半导体先进制程不可忽视的议题,尤其是制程微缩至5奈米以下,大约只要5~17个污染气体分子沉积就可占满5奈米线宽并造成良率降低,而且随着半导体电晶体结构在3奈米或2奈米转换至环绕闸极,微污染对良率影响更加敏感,所以AMC防治已是维持先进制造环境洁净度不可或缺的重要绿色制程方案。
在碳中和世界潮流推动下,供应链碳足迹与减碳绩效已纳入重要採购指标,供应商在2030年前必须节能20%,滤能自成立之初即致力于AMC防治,提出次世代产品可回收的循环经济,除框体/滤材重复使用可减少60%以上废弃物外,不可再次使用的滤材也可再制成RDF燃料棒用于生质能发电,燃烧后的底渣也可制成环保高压砖或是水泥添加物,达到100%回收、零废弃物的循环经济。
滤能拥有TAF 17025专业实验室及多领域研发团队,可协助客户提出客制化防治方案,为能保持技术领先优势,滤能持续进行产品研发计画,也针对循环经济及再生材料提升进行开发,稳定现有技术并投入研究发展之资源,将藉由入驻南科之半导体群聚效应,深耕技术基础,规划进军国内外市场。
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