和正丰PFA无金属高温膜片阀 无金属溶出重大突破

面对半导体、光电及电子业制程每一环节要做到绝对「零」污染，专门为生产各式高功能流量控制产品的制造商－和正丰科技研发的「PFA无金属高温膜片阀」，继FIT-ONE接头后，再一次颠覆所有人对PFA膜片药液阀的观点。今年将在台北国际半导体展发表，地点在台北南港展览馆一馆一楼，摊位码：K2266。

和正丰科技副总陈柏文表示，「PFA无金属高温膜片阀」在半导体产业应用可说是重大突破。PFA膜片药液阀外观奇特，有如「变形金刚」般，格子状肋板形体，非常吸睛。创新结构设计，不同坊间其他品牌外型四方使用4支螺丝固定，「圆形」外型设计结合方形本体能稳固阀门震动的优点，产品利用螺牙、螺帽旋转概念，密封阀门，除性能要求的不泄漏外，大大降低金属污染的可能性。

无金属螺丝锁固，膜片外围泄漏时，液体没有通道到达金属螺丝因而产生污染，完全没有金属会溶出的疑虑。可靠耐用的膜片设计，因没有金属溶出，膜片因有「耐用」的设计，不必担心会有金属溶出、採用降低膜片寿命的设计。高稳定特性，由于热源隔离的恒温设计及散热板结构，热稳定性高，加强阀门密封性，不容易泄漏，提高产品使用寿命。

其中BPW100氟树脂药液用多通阀，客制化设计，降低成本，可以缩短安装时间。而阀体长度缩短，可以弹性配置机台空间。独特的阀门缓衝器设计，可以减缓水锤，延长阀门寿命。

值得一提的是高强度FIT-ONE plus，PFA迫紧环扩孔接头的O形环PFA材质，可耐200度高温、耐高压。高刚性接头结构，抵消材料潜变特性，接头在高温作动中仍维持弹性高性能，完全不会泄漏和液体残留，制程品质稳定性更高。独创的防松脱接头设计，经拉力测试，拉力值超过标准值150％以上，管子所受承载力量与拉力，能拉长为原有长度的2倍长以上，可延长管子与接头脱落时间，大大提升FITTING产品于半导体制程应用上安全有效反应时间。

和正丰科技在半导体化学液体应用的领域上，不仅是在前段蚀刻、纯水清洗，更跨足到CMP slurry制程，开发的PFA sweep elbow接头、PTFE多通阀更能全方位满足客户的需求。