蔚华科携手旗下南方科技2023年底推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统,取代现行高成本的破坏性KOH(氢氧化钾)蚀刻检测方式,可提升产量并有助于改善制程,由于切中市场痛点,市场下游客户多表达高度兴趣,据了解,国内生产碳化硅(SiC)基板厂商,包括硅晶圆厂环球晶、中美晶、稳懋、汉民、盛新等均是蔚华科的潜在客户,此外,目前也与中国和欧美多家客户积极接触中。
对于接单情况,蔚华科表示,关于接触客户相关资讯不便透露,但目前确实和客户进行最后的洽谈,有机会在第一季底前取得订单,由于先前公司也开始预备生产初期所需机台,因此,最快2024年上半年可以出货,但预计未来新接单将需四至六个月的生产时间才能出货。
电动车推动全球SiC晶片需求迅速爆发,尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体元件,供给量远远不及需求。化合物半导体的基板材料品质决定下游晶片的可靠度及性能优劣,但SiC长晶速度较慢,且基板晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测,使得SiC晶片制程成本居高不下,目前全球主要基板厂皆积极投资产能扩充并改善制程,加速产业布局以抢攻市占率。
蔚华科表示,目前市场上光学技术只能检测表面非晶体缺陷,JadeSiC-NK系统採先进的非线性光学技术,可对全片基板表面到特定深度进行扫描,反应晶体结构资讯,提供晶体缺陷密度及其分布状况,更能有效掌握基板品质,未来生产出的元件品质与效能也能更加稳定。
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