目前产业界已实现4英寸氧化镓单晶的量产,并有望在未来几年扩大至6英寸。与此同时,基于氧化镓材料的肖特基二极体与电晶体在结构设计、制程等方面近年来亦取得了突破性进展,首批肖特基二极体产品预计2024年投放市场,有望成为首个规模商用的氧化镓功率元件。即使氧化镓仍存在导热性差与P型掺杂缺失等棘手挑战,但相信随着功率半导体巨头的跟进,以及关键应用的牵引,其商业化指日可待。
材料与元件技术并进 氧化镓商业化脚步渐近
2024 全球十大科技脉动8
随高压、高温、高频等应用场景增加,氧化镓Ga2O3作为一种超宽禁带半导体材料,已经被认为是下一代功率半导体元件的有力竞争者,特别是在电动车、电网系统、航空航太等领域。相较于气相生长的碳化硅与氮化镓,氧化镓单晶制备可透过类似硅单晶熔融生长法来完成,因此拥有较大降本潜力。
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