台积电7奈米、5奈米订单爆棚,为加速3奈米先进制程开发,预估明年EUV(极紫外光)机台将超过50台,几乎全球一半EUV设备都在台积电手里,狠甩竞争对手三星。对此消息,台积电不予置评,因为涉及商业机密。

台积电今年下半年全力衝刺5奈米量产,明年还展开3奈米生产线建置,对于EUV曝光机需求大增。《电子时报》报导,供应链消息指出,台积电目前已採购35台EUV设备,占微影设备大厂荷商艾司摩尔(ASML)过半产量,光是5奈米、3奈米据点的南科就达20台,明(2021)年底採购总量将超过50台,预估55台左右。

相较之下,三星EUV设备採购量目前不到20台,业者估算,明年也不超过25台,看不见台积电车尾灯,从设备、零组件採购数量来看,凸显台积电、三星在先进制程与接单量的差距持续扩大。

台积电看好5奈米和3奈米先进制程在未来几年强劲需求,今年资本支出已提高至160~170亿美元,代表将持续增加EUV曝光机採购量。

由于台湾EUV机台装机规模领先全球,艾司摩尔为了服务最大咖客户台积电,选择在荷兰以外的南科设立首座EUV全球技术培训中心,为台湾半导体产业提供更完整的服务。

然而艾司摩尔这项美意,却让台积电工程师哀号。业内人士透露,以往要学会使用EUV设备,只能去荷兰受训,现在不必出国在南科就能完成训练,无法享受出国的福利。

(中时新闻网)

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