10日晚间21点19分宜兰县政府东方27.2公里的台湾东部海域发生深度76.8公里、芮氏规模6.7级的地震,第一时间大家都忧心目前正在缺货赶工的半导体与面板产业状况如何?经查台积电回覆,由于北部的部分厂区所在地震度达到四级,因此有部分员工依规定疏散,但工安系统一切正常,对于正常的生产影响料无大碍。

至于面板厂方面,群创表示,因为面板厂的机台都有地震防护,目前营运正常不受地震影响,友达也已紧急盘点各厂区,目前回报厂务系统正常运作并无影响。

设备商指出,由于半导体与面板厂内的设备精度都非常高,因此对于厂房与设备的耐震要求也比一般的公司要高很多,不过因为半导体与面板的前段制程会使用较多的化学药剂与气体,泰半都属于有毒物质,一旦发生较大的地震时,并不是担心机台受损移位,而是怕设备管线发生渗漏,因此若是震度达到一定程度以上,即使地震未导致发生断电使生产线中断等状况,但依照规定还是会将无尘室内的员工进行计画性暂时疏散。

业者指出,10日晚间地震,新竹市3级、新竹县4级,竹科内半导体厂测的都是3级,依半导体厂流程,黄光制程要重新pilot run,曝光机回线会比较慢,炉管要重新重启,测试运作(test run)大概要6小时,其余机台相对正常。至于进一步细节需要11日才会较清楚。至于半导体相关供应链,封测业者回应,基本上封测厂要到震度五级以上才会有相关的反应,目前看来没有断电、较无生产上的问题。

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(中时新闻网)

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