陆晶圆代工龙头中芯国际近期被传出获得美方许可,可以供货成熟制程的半导体生产设备,虽然14奈米以下制程发展依然困难重重,但至少能让8吋晶圆产能恢復正常运作,预料全球晶片荒可以获得些许舒缓。中芯国际周三(3日)晚间公告,与独家供应极紫外光(EUV)曝光设备的荷商艾司摩尔(ASML)签下12亿美元(约338亿元新台币)合约,让外界议论纷纷。

中芯国际公告,在2020年3月16日至2021年3月2日期间,与ASML签订批量採购协议,购买约12亿美元半导体生产设备。由于与ASML的採购协议已经到期,该公司在今年2月1日重新签订契约,将原定于2018年1月1日至2020年12月31日期间,延长至2021年12月31日。

面对市场传闻美方禁令松绑,中芯国际回应,将携手全球产业链伙伴,保证该公司生产连续性及扩产规划不受影响。中芯国际表示,不确定性依然存在,该公司始终坚持依法合规经营,有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。

据陆媒报导,资深业界人士透露,除了EUV机台,中芯国际几乎取得可以拿到的所有型号曝光机,包括台积电在生产第一代7奈米制程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光机,透过DUV的193nm浸润式ArF微影生产。

早在去年下半年,ASML在上海国际进口博览会展出号称能用于7奈米制程的DUV机台,业界人士指出,DUV机台透过液体浸润多重曝光后虽能缩小线距,但要做到与EUV的13.5奈米波长等效,也就是达到台积电7奈米制程的良率与成本,恐怕还有一大段距离,但这已经是面对美国禁令下可以採取的手段。

中芯国际曾在2018年5月向ASML订购价值1.2亿美元EUV机台,却因瓦圣纳协定(Wassenaar Arrangement)以及美国政府在背后施压,导致无法履行该合约。由于EUV机台是发展先近制程的重要关键,台积电、三星电子等晶圆代工领导厂商无不与ASML保持良好业务关系,甚至在生产记忆体包括SK海力士,也积极向ASML订货。

为了EUV机台,中芯国际去年底找回台积电前营运长蒋尚义担任副董事长,却一度引发中芯国际首席联合执行长梁孟松不满,扬言请辞,让中芯国际高层大地震,最后在董座周子学等高层极力挽留,最后2人并列董事会成员,让该公司在先进制程以及成熟制程研发上双轨并行。

目前中芯国际在8吋晶圆、12吋晶圆都近行扩产,加上北京当局祭出10年28奈米制程以下免税计画,明显是为了扶持大陆半导体自主化进程。虽然从目前资讯来看,中芯国际还难以确认是否可以拿到EUV机台,但至少较去年遭美方追杀的困境来看,中芯国际已经找到新出路,并赶紧吃下目前全球晶片荒的商机。

(中时新闻网)

#联合 #全球 #台积电 #中芯国际 #EUV