台积电打造创新商业模式，将曝光机台以租赁方式提供光阻供应商使用，确保制程关键材料光阻稳定供应及在地化，供应商去年成功设立全台第一座极紫外光（EUV）光阻生产工厂，截至今年4月已产出超过千瓶EUV光阻剂，创造逾新台币1亿元商业价值，年产值更超过新台币10亿元，同时达到台积电资产活化再利用效益，落实产业共好。
台积电资讯技术及资材暨风险管理资深副总经理林锦坤表示，原物料供应商是台积电永续经营的重要伙伴，台积电透过创新的商业模式，开创光阻供应链在地化，共同打造台湾第一座EUV光阻工厂。
台积电提供机台租赁 推动光阻供应链在地化
随着晶圆代工龙头台积电产能扩张，原物料需求亦不断成长，为确保制程关键材料之一的光阻稳定供应，台积电打造创新商业模式，将曝光机台以租赁方式提供光阻供应商使用，降低其投资成本及提升来台设厂意愿。台积电评估今年第四季建立「机台租赁平台」，活化厂内不同类型机台再利用价值，提供有需求的供应商使用。
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