工研院量测技术35年 以尖端量测助攻台湾产业升级

工研院量测技术发展中心迈入35年，日前举办「量测35周年庆」，分享创新量测技术研发重要成果，未来将以精准量测扶植新创公司外，下半年将成立以半导体尖端量测技术的新创公司，使国内半导体产业符合国际标准。

工研院副院长彭裕民表示，工研院执行国家度量衡标准实验室，率先开发前瞻性技术检测协助国内半导体大厂转型升级，不仅建立下世代半导体前瞻量测技术，也协助台湾太阳能产业标准检验证与新产品开发，在净零碳排的全球趋势下，期协助产业实现低碳绿色转型。

量测中心执行长林增耀表示，在「国际计量标准」中，随着国际基本单位的重新定义，工研院2018年投入硅晶球法之相关技术，建置以精准实现由普朗克常数所定义之公斤，确保国家最高量测标准及自主追溯。

在「推动产业化」部分，致力半导体前段制程突破与异质整合的市场需求，如「GAA制程X光量测技术」满足半导体前段制程奈米尺寸三维的复杂需求，率先布局下世代半导体关键技术，此技术预计下半年成立半导体尖端量测公司，可望成为产业在国际市场竞争的助力。

在「能源测试验证」中，太阳光电计量实验室取得国际IECEE CBTL实验室认证资格，依据国际标准发展趋势，协助国内厂商进行品质改善与新产品开发，并于2021年打造全台唯一行动式太阳光电测试车，协助台湾在全球再生能源市场上更具竞争力。

工研院推动国内量测技术与标准，成绩有目共睹，国家度量衡标准实验室以工研院光復院区的16馆建筑物为基地，持续肩负建立放诸四海皆准的国家技量标准之使命。

工研院量测技术研发另一个重要据点，则是工研院光復院区12馆建筑物，原为日治时期1936年所设立的总督府天然瓦斯研究所，是台湾最早成立的工业研究机构，在台湾科学研究史上别具意义，未来也将持续为台湾精准量测贡献心力。