按主要投资县市别分，有44家位于桃园市，投资金额2,084亿元居首，以电子零组件业、电力设备及配备制造业、电脑电子产品及光学制品业为主，金额合计占8成3。臺中市、臺南市、高雄市分别投资金额2,028亿、1,944亿、1,695亿元，位居2～4名，大多是电子零组件制造业、电脑电子产品及光学制品业为主要投资业别。
统计处说，在266家回臺投资业者中，于2021年前已完工者占31.6％，若观察投资类型，75.2％业者规划新建厂房，23.7％以扩增产线方式快速建置产能。以分年到位金额观察，第1阶段（2019年～2021）年约有7,009亿元投资落实，预期今年（2022年）底到位之投资金额约1,891亿元，2023年以后投资金额为1,827亿元。
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