环保署官员说，由于相关办法从民国88年起沿用至今，这几年半导体设厂数量快速，多个科学园区齐发，希望加严相关检测办法并且给予业者相对弹性。官员解释，藉由排放标准的修订，预计可减少286公吨全厂挥发性有机物（VOCs）及12公吨酸性气体排放量，相当于一座炼油厂4个月的排放量。
环保署修正发布半导体制造业空气污染管制及排放标准 2年后上路
环保署4日修正发布「半导体制造业空气污染管制及排放标准」，新建厂房或新设制程需要採用污染排放较低或防制效能较佳设备，并且放宽排放标准，从总量管制的天花板，变成单一管道标准，并且给予检测弹性红利，希望促使产业在新增设备时同时兼顾环境。预计台积电等所有新设半导体厂都需符合规定，并给予2年缓衝期，最终在114年5月正式实施。
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