随着半导体先进制程不断演进,对特化材料环保要求提升,随着客户2奈米新产能开出,台特化自行开发硅乙烷今年将进入快速量产期,法人预估,未来3年可望快速大幅跳增,至于AHF在今年首季将开始对营收做出贡献,2025年营收有机会突破10亿元的大关。
半导体线径进入2奈米,半导体线径微缩的物理极限已至,需要由化学特性来补足物理特性不足,硅甲烷的化学反应性已无法符合需求,硅乙烷化学特性效果比硅甲烷更好,于晶圆上可做更多蚀刻电路,平滑度及反应温度更佳,符合2奈米及以下应用。法人预期,台特化硅乙烷今年营收贡献可望有高双位数成长空间。
台特化在去年开发出新产品无水氟化氢(AHF)为先进半导体制程中非常重要的乾式蚀刻与清洁特气原料,主要应用于晶圆沉积薄膜蚀刻与机台设备内硅类残留晶体的清洁移除,具有优异的选择率及向性可应用于更先进的制程。法人也看好此部分的营运成绩表现。
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