面板製程朝大型化及高精細化極致發展時,精密製程所要面臨的環控問題成整個供應鏈重要課題。當品質控制與面板技術精進,左右產品產出成本、良率、技術演進及市場地位的關鍵,精準的溫溼度控制及空氣微汙物處理成為產業先進「幾乎未知,卻又無法忽視的問題」。

憑藉對先進製程環境中空氣未知物的了解,尤其是微小氣狀分子污染物(AMC)的監測與控制累積多年經驗,奇鼎科技推出「AMC去除控制整合節能方案」作為微汙染物去除的對策,其方案囊括製程環境的未知監測以及控制,形成先進製程強而有力的品質後盾。

實際應用包括:一、製程的微環境控制(Mini-environment)可達到溫度控制±0.01度C、濕度控制±1%RH、去除AMC效率可達97%以上,並以層流控制使空氣均勻分佈使產品降溫狀態達到最佳化;二、廠房環境(Fab)的外氣供氣處理,在外氣處理的第一段達到AMC去除的效果,並達到90%至98%的馬達耗電節能;三、線上(In-line)微汙物監測系統,整合精密分析儀器的線上即時連續監看ppbv~pptv等級的微污物(nano-contamination)偵測系統,多點分布的特性可在製程不同區域「化未知品質問題為已知環境資訊」,提供先進製程一個完整的AMC連續監測及去除控制方案。

微環境控制與監測的整體解決方案(Total Solution)領域,奇鼎科技累績多年的成功經驗,有信心成為面板精進製程的品質推手。

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