國立中山大學光電工程學系洪勇智博士的積體光電元件實驗室建置新型全像術曝光系統「自動化晶圓級光柵參數擷取系統」成功在3吋半導體雷射晶片製作高均勻度光柵結構,大幅提升光通訊製程效率並降低整體成本,受到專業磊晶片製造商-聯亞光電重視並以250萬元權利金完成技轉。

洪勇智所領軍的積體光電元件實驗室為建立自動化光柵檢測系統,連結了法人-工研院雷射中心以提升決定解析度的雷射光路模組,打開檢測光柵的眼睛,建立商用原型機,檢測整片2吋晶片光柵所需時間小於10分鐘,短於人工量測單點時間,成效顯著;並由工研院技轉法律中心協助發掘技術多領域應用可能性,未來有機會應用於旋轉編碼器、生物晶片、圖形化藍寶石基板、電子裝置觸控膜等製程上。

此外,該系統能降低廠商檢測時間,提高元件產量2~3倍,大幅提升品質驗證可靠度,有助強化與下游廠商的合作關係,提升產業競爭優勢。

#檢測 #系統