潔淨的環境能有效提高生產良率,尤其在半導體先進製程中,氣態汙染物(AMC)將對晶圓產生損害,讓AMC防治控制特別受到重視。透過產品模組化的組合式設計,濾能股份有限公司為半導體及面板產業提供最佳AMC防治控制方案,可達成Reuse濾網廢棄物減量/Reduce框體重覆使用/Recycle濾網再生重覆使用之3R目標,已廣泛使用於12吋先進製程中。

擁有15年AMC防治經驗的濾能總經理黃銘文表示,革命性的產品是需要時間來認可的,公司用3年多的努力導入半導體製程中,大幅降低客戶支出成本,並減少碳足跡。與傳統型化學濾網相比,濾能模組化濾網將濾網重量減輕,更換容易,降低搬運及施工意外;可重複利用濾網框架,只需更換濾材,讓廢棄物減量,並降低成本;有效去除各類氣體的高彈性應用等特點,帶給客戶更有優勢的解決方案。

在節能減碳及成本控管的意識抬頭下,該公司顛覆傳統的設計,已獲得科技大廠的驗證並實際使用,整體效能更勝以往,並能減少約8公斤的廢棄物。也計畫結合風機(FFU)廠商,以一體成型的產品ChemFFU(FFU with chemical filter built-in.),前進中國市場。

該公司今年在SEMICON Taiwan 2017南港展覽館一館4樓高科技廠房設施專區L306以及1樓循環經濟專區I1310展出,並受邀參加「自動化與智能控制&永續與綠色製造」產品及技術發表研討會以及循環經濟論壇發表會。雖然循環經濟正夯,但濾網重覆再生使用接受度仍不高,這是濾能公司未來最重要的課題,要讓客戶能放心使用,引領環境友善、綠色革命的使命。

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