甫獲Computex 2019創新設計獎的邑流微測(FlowVIEW Tek),團隊出身於工研院,並以自主開發的專利創新技術,成為全球唯一可提供高解析度液態樣品奈米檢測的全方位解決方案(Flow AOI)供應商。

近日邑流微測再獲科技部TTA推薦,優先選送進2019 Berkeley Skydeck加速器第二階段競逐,獲邀與美國UC Berkeley旗下最大的官方新創加速器Skydeck的投資者進行產業策略對談。

積體電路發明60年,繁複製程中,包括晶圓生產的黃光蝕刻、薄膜、顯影等製程中,都必須使用到液體或揮發性材料,如CMP研磨液、光阻液、蝕刻化學製品、去離子水等,但是以往在製程檢測上卻只有單一固態的乾式檢驗。

邑流微測指出,半導體產業一貫的分析作法是將濕式材料烘烤後,變成固態,但是經烘烤後的液態材料必然產生團聚或變質,因此過去半導體產業在液態材料的監測上,常態性的觀測均已非原位形態的失真樣本,惟受限於濕製程檢驗的高端技術困境難以突破,半導體產業選擇退而求其次檢測方案。

2017年7月由工研院衍生創立的邑流微測,團隊運用獨家開發的AI影像分析軟體,突破既有液態檢測模式的技術困境,並以自主研發的液態SEM載台與微奈米級漿料分析技術,以領先全球的高解析度影像顯示液體內微奈米粒子的原始分布狀態,樣本無需前置處理作業,於監測現場30秒內便能搭配自主研發的AI人工智慧分析軟體揭露半導產業在濕製程多年懸而未解的液態微奈米材料之謎。

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