中勤為專精在晶圓、光罩、玻璃自動化儲存傳載,日前正式對外宣布與美商英特格(Nasdaq:ENTG)專利技術合作,獲得RSP自動化光罩盒技術授權。

光電半導體客戶正邁向智慧製造工業4.0時代,由於創新科技的物聯網、機器人等技術,中勤也在這個工業時代製程中扮演重要角色,在面對客戶端製程升級時可立即提出相對應的技術及解決方案,與美商英特格合作更加相輔相成,未來發展值得期待。

微電子產業特種化學品和材料解決方案之領導者英特格(Entegris)副總裁 Paul Magoon表示,英特格在提供解決客戶端特定生產挑戰時,由中勤所拓展相關技術及解決方案相得益彰。

中勤董事長陳延方表示,授權關鍵技術,讓中勤更加確信能為客戶提供能解決其需求並且能立即適用的產品。

隨著半導體產業開始進入先進技術節點,保持光罩無缺陷的要求比以往任何時候都高,為此,中勤不斷創新光罩保護能力,包括降低關鍵的粒子污染挑戰,配合客戶製造產品所需提供超潔淨的保護,強化自動化的氣密性、減少Haze風險。

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