受美國政府施壓,全球曝光機(Mask Aligner,大陸稱光刻機)巨頭艾司摩爾(ASML)因尚未獲得荷蘭政府許可,暫停向中國晶圓製造龍頭中芯國際出貨極紫外光(EUV)設備,西方聯手再度切斷中國在半導體的前進之路。

日經亞洲評論報導,ASML延遲向中芯國際出貨EUV設備,疑似有美方力量介入,使得荷蘭半導體設備巨頭不願將最先進的設備出貨的中國,提升他們的晶圓製程。另外的消息人士稱,ASML雖推遲出貨,但並非完全取消訂單。

ASML在1984年從飛利浦剝離,成為全球主要半導體設備供應商,幾乎壟斷高階曝光機的供應地位,倘若半導體製造業者無法從ASML採購設備,將難進行高製程的生產。

中芯國際2018年5月向ASML訂購價值1.2億美元高階EUV設備,外界視這是中國半導體企業終於突破瓦聖納協定(Wassenaar Arrangement)的訊號,晶圓製造製程有望快速升級。瓦聖納協定是管制傳統武器及軍商兩用貨品出口的條約,目前全球42國簽署,將伊朗、伊拉克、北韓、利比亞等國列入管制,中國也受到相關的限制。

不過這筆原先預定2019年初交貨的訂單,因為2018年底ASML突發火災等因素,外界認為將延至今年年底。

ASML於7日發布聲明,強調公司對全球客戶一視同仁,不過根據瓦聖納協定,出口曝光機至中國需要得到荷蘭政府的許可,而出口許可在2019年到期,ASML雖已在到期前重新申請,現仍等待荷蘭政府批准。ASML強調,公司並沒有決定延遲或是終止出貨給中芯國際,也未確認過交付設備給中芯的時間表,一切遵循法規行事。

近年美國對中國5G、AI、半導體領域進行封鎖,包括限制中企收購相關外企,以及對中國指標科技企業實施禁售令等。而半導體一直是中國科技軟肋,中芯國際雖為中國晶圓製造龍頭,但與台積電、三星等仍有極大差距,若突破設備障礙,就能縮短差距。

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