因應5G與高效能運算先進製程商機,半導體設備產業需求強勁,根據國際半導體產業協會(SEMI)估計,今年市場規模可望成長6%,達632億美元,明年更有機會一舉突破700億美元。

在經濟部技術處科技專案的支持下,工研院與臺灣機械工業同業公會及世界雷射應用領導品牌德國創浦集團(TRUMPF)將攜手成立「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」,三方於9月2日舉行合作意向書(MOU)簽約儀式,結合德國最先進的高階雷射源,搭配國產客製化的大銀微平台與工研院的製程光路模組,為臺灣半導體設備商提供關鍵升級技術,協助臺灣的半導體產業更添戰力。

經濟部長王美花表示,這個合作案對臺灣產業有三個重大的意義:首先,現在半導體有一個革命性製程發展EUV(極紫外光),德國創浦集團是艾司摩爾(ASML)EUV設備雷射源的供應夥伴,在雷射源及工具機的產值皆為全球前三,創浦的加入可說為臺灣產業帶來一個非常大的盟友;第二個重要意義是,創浦帶來先進技術、機械公會帶來客戶,工研院有系統整合的能力,將帶起整體產業技術服務能量,強化臺南雷射聚落的發展,並為臺灣雷射設備產業發展帶來新契機;第三個意義是在半導體後段封裝製程當中,如何盡可能不損壞晶粒,完成晶圓切割,雷射源的好壞將直接影響加工品質。但是高階雷射源設備成本很高,廠商財務負擔大,而且如果要測試開發需要國外原廠配合,往往因為與國外廠商一來一往當中喪失商機。現在,這個中心可以讓有需要導入高階雷射源的業者,可以到這裡打樣測試,縮短距離。

機械公會理事長柯拔希表示,由於雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接和各式精微加工應用等,無論是對品質可控的要求、對先進加工和生產效率的需求,還是最終構建成人機互動的智能工廠,對我國機械產業之長遠發展非常重要,期許未來三方合作提供國內產業應用發展不可或缺的平台,減少各公司重複投資與提升技術研發效率,相信可成為推動我國製造業轉型升級以及提升產品附加值的重要關鍵技術。

台灣創浦總經理鄭勇志表示,雷射加工相關設備與應用需求愈來愈廣,創浦集團除與國際半導體設備大廠ASML共同合作開發的極紫外光EUV光刻機外,自行研發製造的超快飛秒fs/皮秒ps先進雷射源技術更是在微加工領域獲得國際電子設備大廠採用,是當前「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的設備。臺灣是全球半導體重點市場之一,創浦集團繼今年在南科與合作夥伴共同成立技術培訓中心,此次進一步參與臺灣半導體設備產業的合作,將持續為高科技業導入最新雷射技術,期盼透過臺德雙方之技術合作,強化臺灣國際競爭力,共創新商機。

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