至於面板廠方面,群創表示,因為面板廠的機台都有地震防護,目前營運正常不受地震影響,友達也已緊急盤點各廠區,目前回報廠務系統正常運作並無影響。
設備商指出,由於半導體與面板廠內的設備精度都非常高,因此對於廠房與設備的耐震要求也比一般的公司要高很多,不過因為半導體與面板的前段製程會使用較多的化學藥劑與氣體,泰半都屬於有毒物質,一旦發生較大的地震時,並不是擔心機台受損移位,而是怕設備管線發生滲漏,因此若是震度達到一定程度以上,即使地震未導致發生斷電使生產線中斷等狀況,但依照規定還是會將無塵室內的員工進行計畫性暫時疏散。
業者指出,10日晚間地震,新竹市3級、新竹縣4級,竹科內半導體廠測的都是3級,依半導體廠流程,黃光製程要重新pilot run,曝光機回線會比較慢,爐管要重新重啟,測試運作(test run)大概要6小時,其餘機台相對正常。至於進一步細節需要11日才會較清楚。至於半導體相關供應鏈,封測業者回應,基本上封測廠要到震度五級以上才會有相關的反應,目前看來沒有斷電、較無生產上的問題。
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