SEMI表示,隨著5G、人工智慧(AI)等新興科技應用興起,半導體製程持續微縮,對封裝的要求也逐漸增長。而異質整合封裝技術具備高度晶片整合能力,被視為後摩爾時代下延續半導體產業發展的動能。此次SEMICON Taiwan展會特別召開先進測試論壇,邀請到台積電、英特爾、聯發科、中華精測、京元電等業者,針對晶片異質整合趨勢下的測試技術提出展望。

英特爾技術總監張益興於論壇中表示,小晶片技術讓系統單晶片(SoC)依功能解構為不同裸晶,而每個裸晶可能採用不同的矽智財(IP)或設計,因此都需要經過測試。而最後透過先進封裝整合為單一晶片時,其中只要有任何一顆裸晶有缺陷,代表整個封裝堆疊都會無效。

此外,包括台積電3DFabric或英特爾Foveros等先進封裝技術,晶圓凸塊(bumping)尺寸愈趨於微小化,微凸塊(micro-bump)和混合鍵合(hybrid bonding)等技術非常複雜,因此需要採用針對3D IC等先進封裝量身打造的探針卡或測試介面技術。

精測研發部門經理蘇偉誌表示,晶圓測試需高度客製化,及具有質整合功能探針卡,因此探針卡的探針(needle)設計成為關鍵。精測27日宣布推出3D IC探針卡方案,主要透過電氣、機械、熱應力等模擬整合,加上MEMS探針卡量產能力,可因應客戶對晶片異質整合3D IC測試需求。

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