隨著半導體製程快速演進,台積電除攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統,亦進一步透過「機台參數設定優化」、「新技術綜效整合」二大策略,持續挖掘先進製程機台節水省電機會點。

面對先進製程日益複雜,台積電永續發展行動更加積極。台積電指出,2021年旗下智能工程中心成立跨組織團隊,全面盤點先進製程機台用水量,發現濕式製程機台用水占總用量70%以上;因此,團隊進一步深入分析機台模組的源頭使用與終端排放情形,透過「機台參數設定優化」、「新技術綜效整合」二大策略,規畫出六項節水省電行動方案,精進能資源運用效益。

此外,為呼應聯合國第七項永續發展目標,台積電以高效節能半導體技術協助客戶生產更具能源效益的產品,開發領先全球的超低功耗(Ultra Low Power;ULP)技術,除做為物聯網應用的關鍵基礎、持續提升終端智慧運算裝置的使用壽命與功能創新外,截至2022年2月,台積電超低功耗技術亦已為全球累積節能逾20億瓦,持續提升能源使用效率。

在全球快速工業化與都市化趨勢下,各種物聯網應用蓬勃發展。台積電指出,將持續提供友善環境且高能源使用效率的技術,由物聯網業務開發處、產品技術精進處等組織合作推動「超低功耗技術專案(ULP Pioneer Project)」。

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