晶圓代工龍頭台積電位於竹科寶山二期的2奈米晶圓廠Fab 20建廠計畫啟動,竹科管理局局長王永壯20日表示,竹科管理局已將部分用地租予台積電,台積電將可展開整地作業,估計最晚將於6月取得所有用地。另外,世界先進評估興建12吋廠且有意進駐銅鑼園區設廠,王永壯表示待環差案通過將進行用地分配。

■竹科寶山將成2奈米重鎮

王永壯表示,竹科寶山二期擴建計畫進展順利,經過幾十次溝通,已有超過九成的地主同意價購徵收,新竹縣政府將於4月底公告徵收,估計最晚將於6月取得所有用地。同時,管理局3月已將部分用地租予台積電,台積電可以展開整地作業。

台積電預計在竹科寶山二期興建Fab 20超大型晶圓廠,未來將成為2奈米生產重鎮。設備業者指出,台積電Fab 20廠區將分為第一期到第四期、共興建4座12吋晶圓廠,預計2024年下半年進入風險性試產,2025年進入量產。台積電2奈米製程將採用奈米層片(Nanosheet)的環繞閘極(GAA)電晶體架構,技術開發進度符合預期。

台積電2奈米之後的更先進製程將進入埃米(angstorm)時代,業界預期,台積電後續將推進到18埃米(1.8奈米),但尚未決定設廠地點。設備業者評估,台積電2奈米需求強度若優於預期,竹科用地不足,將可能轉赴台中建立2奈米及18埃米等先進製程晶圓廠,中科二期用地已納入考慮。

台積電去年進入2奈米N2製程技術的開發階段,著重於測試載具設計與實作、光罩製作及矽試產等,主要進展在於提升基礎製程設定、電晶體與導線效能。在微影技術部份,台積電研發組織藉由提升晶圓良率達到可靠影像以支援3奈米試產,並提升極紫外光(EUV)的應用、降低材料缺陷與增進平坦化的能力,以支援2奈米技術的開發。

■世界可望進駐銅鑼園區

另外,王永壯透露,世界先進有意進駐銅鑼園區設廠,待環差案通過,將進行用地分配。由於8吋晶圓設備價格愈來愈昂貴,同時許多設備廠已停產8吋設備,無法找到完整設備興建新的8吋晶圓生產線,因此,世界先進董事長方略於日前法人說明會中曾指出,世界先進後續若要蓋新廠,的確會以12吋晶圓廠為首選。

方略當時提及,世界先進興建12吋廠尚無時間表,要等到目前晶圓五廠的8吋晶圓量產後,才會評估是否興建12吋廠,另外,12吋廠為全新建置的生產線,世界先進評估會希望以新竹或台灣其他區域為主。

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