台積改良氫氟酸 減碳大躍進

預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸，相當於58座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量，持續創造資源循環價值。

台積電釋出最新ESG年報，本次主要聚焦在氫氟酸提煉過程，能更達到永續經營。台積電表示，氫氟酸是半導體濕式蝕刻製程的重要化學品，一般以螢石為原料，因取得不易且精煉程序繁複，產製過程較難降低碳排放量。

台積電指出，推動綠色低碳供應鏈為公司ESG的重要一環，為促進環境永續發展，2021年起與供應商合作投入氫氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥產製過程衍生的廢料─氟矽酸搭配硫酸進行化學反應後產製氫氟酸，且品質符合半導體製程標準。

台積電除輔導供應商提前於進料階段即提供品質保證證明（CoA）外，同時協助其開發獨立產線進行測試，經反覆調整以達製程最適化，確保後續生產品質無虞。

台積電表示，公司正攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有製程品質的前提下成功產製氫氟酸，截至2023年2月已導入晶圓12A廠、晶圓15A廠，減少螢石用量、減碳317公噸，其他12吋晶圓廠區亦同步進行試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸，相當於58座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量，持續創造資源循環價值。