成大研發團隊「軟性光罩微影」的自主技術,已於樹谷園區成立永嘉光電公司,東捷技科投資新台幣1,200萬元,該團隊也將於11月底進駐;東捷另外在樹谷園區新設永鑫光電,明年初永嘉、永鑫將攜手合作量產高品質、低成本的PSS,除供應國內LED廠外,也將進軍日、韓、中國。

鑑於LED眾多製程中,「圖案化藍寶石基板(PSS)」是其中之一,業界現以「黃光微影」技術處理PSS,產能有限,良率亦不理想。成功大學機械工程學系教授李永春帶領團隊開發出全新、取代黃光微影的「軟性光罩微影」技術,良率幾乎百分之百,克服業界頭疼的量產、良率等問題,業界看好此技術前景,與該團隊合作,希望以「軟性光罩微影」關鍵技術與元件,支援下一世代LED產業的發展,並進軍韓國、大陸、日本的PSS市場。

李永春指出,現行的黃光微影技術,要在PSS上做出高解析度的小型圖案,以6吋大小的產品為例,1小時只能做4、5片,而且還有良率不理想的問題,估計1小時生產的可用品約2片,若改採用軟性光罩處理技術1小時可做4、50片,也沒有良率的問題,至於代工費用,採用黃光微影製程1片約80至100美元,改用軟性光罩處理技術可以降低約一半的製程成本。

(工商 )

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