特用化學原料暨先進科技材料領導供應商英特格(Entegris Inc.)今天宣布,已將其RSP150專利技術授權給台灣中勤實業,用以製造和銷售光罩盒。

英特格擁有全球先進的光罩盒技術,並持續大力投資於研發,以確保客戶能因應工業4.0帶來的製造挑戰。藉由將RSP150光罩盒專利技術授權給中勤實業,半導體產業將有更多的供應商能夠提供先進解決方案,以改善光罩缺陷率。

英特格晶圓與光罩盒處理部門副總裁Paul Magoon表示,中勤實業將在英特格的既有積累之上,透過拓展技術解決方案,以協助客戶克服其特定的製造挑戰。中勤實業董事長陳延方表示,藉由取得這項關鍵技術授權,可使中勤實業為客戶提供立即可用的產品,並確保能滿足需求。

英特格為台廠家登(3680)之主要競爭對手。今年產業基本面明朗,家登受惠半導體大客戶提升製程,今年營運主力之一之EUV光罩盒需求力道增強。

(時報資訊)

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