摩爾定律的發展面臨諸多經濟與技術上的瓶頸,使得半導體業者一方面必須在異質封裝領域尋找新的出路,另一方面也必須對製程控制、製程所使用的原物料品質,作更嚴格的把關,方能確保產品的生產良率。這些趨勢都將使檢測與計量技術,在半導體製造業中,扮演比過去更加重要的角色。

有鑑於此,工研院量測中心與SEMI(國際半導體產業協會)邀集台積電、液化空氣集團(Air Liquide)、台灣應材、友達、康鈦(Camtek)、致茂、美商英特格(Entegris)、均豪、漢民、大銀微系統、兆晟奈米、德律、日商德山(Tokuyama)、欣興等企業及國家實驗研究院等學研單位,共同成立檢測與計量委員會,要為半導體製造未來可能遭遇的挑戰尋求解答。

(工商 )

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