半導體晶圓製程重要高階物料「濺鍍靶材」有望國產化!工研院攜手中鋼今日啟動「鋼鐵產業研發平台」,未來雙方將在高階材料、水資源以及智慧工安三大關鍵技術上研發合作。尤其對於光電半導體領域不可或缺的靶材,中鋼將鎖定台積電等公司在晶圓製程需要的高階靶材研發。目前此材料掌握在美德日大廠手中,業界每年花百億對外購買,如果能國產商品化應用,可擁有自造技術也節省成本。

鋼鐵產業研發平台未來會以中鋼出題、工研院解題模式進行。工研院副院長彭裕民表示,平台有三個主題合作,第一是聚焦上游「高階材料」前瞻研發,二是善用水資源,鋼鐵製程相當依賴水,找到多元水資源是鋼鐵產業必走的路。這次的研發平台,邀請中鋼先期參與開發正滲透回收濃鹵水技術,也合作優化再生水廠處理流程等項目。第三為希望透過工研院已發展出的ICT、AI感知等技術,導入中鋼廠區,降低工安意外發生。

在高端金屬材料中,半導體靶材是主要發展重點。濺鍍靶材是利用濺鍍技術,讓靶材於晶圓、面板表面上完成金屬薄膜塗佈,是製程重要的關鍵材料。根據semi半導體協會報告,台灣為半導體靶材使用量最高國家,佔全球市場22%,但目前此原料都需從美德日進口,價格不斐。

目前中鋼子公司鑫科有生產低階靶材,主要給半導體下游封裝的日月光矽品使用,但像是中游的台積電晶圓製造塗佈高級靶材仍沒有國產化。這次中鋼將藉由導入工研院高階半導體級靶材製程技術,推動關鍵物料國產化目標。

在再生水循環利用部分,面對台灣南部經常面臨的缺水危機,希望能透過工研院再生水廠處理優化流程,幫助中鋼將目前佔總用水量23%的再生水,於2024年提升至59%,降低缺水風險。在AI工安系統部分,中鋼因鋼材運輸需求,廠區內有許多大型拖板車輛行駛,由於駕駛視覺死角較大,為強化用路安全,中鋼要把工研院iRoadsafe系統導入廠內,以智慧道路安全警示技術,提供大型車安全防護,降低路口事故肇事率。

中鋼總經理王錫欽表示,半導體靶材研發出來後,還要經過台積電等認證才能商品化,生產時間還很難講。但就是希望望進一步提供高階半導濺鍍靶材,達到替代進口,提升產業競爭力。目前中鋼有很多產學合作,每年研發經費20億,有7%投入學研單位,未來希望提高到10%。

(中時 )

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