台積電7奈米、5奈米訂單爆棚,為加速3奈米先進製程開發,預估明年EUV(極紫外光)機台將超過50台,幾乎全球一半EUV設備都在台積電手裡,狠甩競爭對手三星。對此消息,台積電不予置評,因為涉及商業機密。
台積電今年下半年全力衝刺5奈米量產,明年還展開3奈米生產線建置,對於EUV曝光機需求大增。《電子時報》報導,供應鏈消息指出,台積電目前已採購35台EUV設備,占微影設備大廠荷商艾司摩爾(ASML)過半產量,光是5奈米、3奈米據點的南科就達20台,明(2021)年底採購總量將超過50台,預估55台左右。
相較之下,三星EUV設備採購量目前不到20台,業者估算,明年也不超過25台,看不見台積電車尾燈,從設備、零組件採購數量來看,凸顯台積電、三星在先進製程與接單量的差距持續擴大。
台積電看好5奈米和3奈米先進製程在未來幾年強勁需求,今年資本支出已提高至160~170億美元,代表將持續增加EUV曝光機採購量。
由於台灣EUV機台裝機規模領先全球,艾司摩爾為了服務最大咖客戶台積電,選擇在荷蘭以外的南科設立首座EUV全球技術培訓中心,為台灣半導體產業提供更完整的服務。
然而艾司摩爾這項美意,卻讓台積電工程師哀號。業內人士透露,以往要學會使用EUV設備,只能去荷蘭受訓,現在不必出國在南科就能完成訓練,無法享受出國的福利。
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