10日晚間21點19分宜蘭縣政府東方27.2公里的台灣東部海域發生深度76.8公里、芮氏規模6.7級的地震,第一時間大家都憂心目前正在缺貨趕工的半導體與面板產業狀況如何?經查台積電回覆,由於北部的部分廠區所在地震度達到四級,因此有部分員工依規定疏散,但工安系統一切正常,對於正常的生產影響料無大礙。

至於面板廠方面,群創表示,因為面板廠的機台都有地震防護,目前營運正常不受地震影響,友達也已緊急盤點各廠區,目前回報廠務系統正常運作並無影響。

設備商指出,由於半導體與面板廠內的設備精度都非常高,因此對於廠房與設備的耐震要求也比一般的公司要高很多,不過因為半導體與面板的前段製程會使用較多的化學藥劑與氣體,泰半都屬於有毒物質,一旦發生較大的地震時,並不是擔心機台受損移位,而是怕設備管線發生滲漏,因此若是震度達到一定程度以上,即使地震未導致發生斷電使生產線中斷等狀況,但依照規定還是會將無塵室內的員工進行計畫性暫時疏散。

業者指出,10日晚間地震,新竹市3級、新竹縣4級,竹科內半導體廠測的都是3級,依半導體廠流程,黃光製程要重新pilot run,曝光機回線會比較慢,爐管要重新重啟,測試運作(test run)大概要6小時,其餘機台相對正常。至於進一步細節需要11日才會較清楚。至於半導體相關供應鏈,封測業者回應,基本上封測廠要到震度五級以上才會有相關的反應,目前看來沒有斷電、較無生產上的問題。

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