全球獨家供應極紫外光(EUV)微影技術設備的半導體生產設備商艾司摩爾(ASML)去年第四季財報繳出好成績,2020年全年銷售額達140億歐元,其中45億歐元來自出售的31台EUV機台,全球晶圓代工龍頭台積電更在去年採購20多台設備,也因此取得先進製程領導者的地位。對此,也想發展先進製程的大陸晶圓代工龍頭中芯國際,目前遲遲無法拿到2年多前下的訂單,專家認為,陸企無法獲得這些設備,將難以追上台、韓、美國半導體產業,除非拜登政府願意放行。

ASML財報顯示,2020年Q4銷售額為43億歐元、獲利14億歐元,該季受惠於深紫外光(DUV)曝光機出貨以及系統升級等收入。ASML表示,ASML來自大陸營收比重12%,2020年Q3則是21%,至於2020年則是從前一年的12%增至18%。

全球各大半導體廠商持續發展先進製程,目前只有台積電、三星電子與英特爾有機會進入採用EUV機台的生產機會,加上SK海力士等記憶體大廠預計陸續導入EUV機台,相關應用下有望帶動供應商成長,台灣供應商包括光罩盒供應商家登、EUV設備模組代工廠帆宣,有望受惠。

ASML於2020年交貨31台EUV機台,較前一年成長5台,但受到華為禁令以及美國政府從中阻撓,沒有一台送往大陸,這使得大陸廠商只能升級次級半導體生產設備。

ASML執行長Peter Wennink指出,大陸半導體產業不太可能在拜登政府上台後,就獲得喘息機會,但大陸半導體累積的實力仍大幅落後台、韓以及美國業者,其他國家的產業已經累積超過40年的經驗,不太可能砸錢或是換個政府就可以輕易追上。

中芯國際找來前台積電前營運長蔣尚義,就是希望可以依靠其在半導體業界的人脈取得EUV機台。然而,美國商務部去年12月正式將中芯國際列入實體清單,以及適用於美國出口管制措施的產品與技術,須經美國商務部審核通過才能出貨。

這使得該公司10奈米以下製程研發與生產獲得極大困境,雖然中芯國際在28奈米製程產能應付客戶就已經足夠,但半導體公司若不能往先進製程發展,其獲利能力很難提升,中心國際為特殊製程需求的客戶也難以應付,就現在情況來看,ASML能否出貨更高階技術的機台給陸廠,仍取決於拜登政府是否放鬆管制。

(中時新聞網)

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