半導體設備大廠荷蘭商艾司摩爾(ASML)獨家供應的極紫外光(EUV)微影設備,成為全球晶圓代工大廠跨入先進製程技術的關鍵設備,但隨著大陸晶圓代工龍頭中芯國際遭美制裁,導致EUV機台無法進口至大陸,讓大陸先進製程技術發展受制。外媒指出,若完全阻斷大陸獲得EUV機台的可能性,將嚴重打擊大陸半導體產業發展。

據紐約時報報導,川普政府在2019年成功遊說荷蘭政府阻止向陸企出售該設備,沒有任何跡象表明拜登政府會改變立場。喬治城大學安全與新興技術中心(Center for Security and Emerging Technology)研究分析師Will Hunt表示,該機構判斷大陸至少要10年才能自主製造類似的設備,從大陸角度來看,這是非常煩人的問題。

ASML耗費多年才開發出EUV機台,並在2017年量產,售價超過1.5億美元,機台運送需要使用20個貨櫃、20輛卡車與3架波音747飛機。ASML生產機台的供應鏈來自日本、美國以及德國的專門零組件與技術,這也足見半導體供應鏈全球化必須面對的現實。

美國如今想砸超過500億美元發展本土半導體供應鏈,減少依賴台灣等地的先進製程晶片,降低台海發生戰爭所帶來的供應鏈斷鏈風險。

波士頓諮詢集團(BCG)和半導體產業協會(SIA)在今年春季估計,建立本土半導體供應鏈至少要1兆美元,並使得晶片售價飆高。哈佛大學商學院管理學教授Willy Shih表示,ASML技術「極好地說明了為什麼我們需要全球貿易」。

中芯國際2018年跟ASML訂購EUV機台,但卻在2019年遭到川普政府出手阻撓,導致中芯國際無法取得至關先進製程發展的EUV機台。當時ASML回應,是為了遵守《瓦聖納協議》,須等待荷蘭政府審核出口許可,才能出貨中芯國際。

雖然失去這筆訂單對於ASML影響不大,2017年起推出EUV機台,目前客戶已經購買約100台,包括全球晶圓代工台積電、南韓科技大廠三星電子等客戶,但其中有15%營收來自出售給大陸的舊型機台。

美國國家人工智慧安全委員會(National Security Commission on Artificial Intelligence)今年3月提交給國會與拜登的最終報告提議,對大陸出口管制擴大至ASML的設備,意在限制大陸AI在軍事應用的發展。不過,也有專家認為,阻止銷售管道會傷到ASML,也不會為美國帶來戰略利益,希望拜登政府的理性可以獲勝。

中芯國際今年3月宣布,將與ASML簽訂12億美元的訂單,主要用來採購深紫外光(DUV)微影設備,期限到今年底,台積電在7奈米製程發展初期,也採用該設備製造晶片,這也成為中芯國際發展先進製程的救命手段之一。此外,大陸半導體生產設備中微半導體曾在2019年推出自主研發的 5奈米刻蝕機,並通過台積電驗證,但在華為及中芯國際遭美國禁令影響下,中微半導體也暫停開發計畫,甚至遭列美國禁止投資對象清單,但在大陸半導體自主化進程推進下,這也是中芯國際為數不多的選項之一。

文章來源:紐約時報
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