對於俄烏戰爭可能影響半導體製程中使用的原料氣體氖氣斷供,聯電發言人劉啟東表示,聯電雖然有使用來自烏克蘭方面的氖氣,但是聯電始終保持多重來源的供應商,不是只有單一貨源,就算烏克蘭發生斷貨情形,聯電也能在台灣找到替代貨源。

根據研究單位TrendForce報告,惰性氣體主要應用於半導體微影製程,該製程線寬需進一步微縮至220奈米以下時,即開始進入DUV(深紫外光)光源準分子雷射世代,以惰性混合氣體與鹵素分子混合,藉由電子束能量激發產生深紫外光的波長。DUV準分子雷射當中所需要的惰性混合氣體就包含氖氣,且氖氣為混合氣體當中的必要氣體,難以取代。

烏克蘭為半導體原料氣體供應大國,包含氖、氬、氪、氙等,其中氖氣由烏克蘭供應全球近七成產量,TrendForce認為,烏俄衝突雖可能衝擊該地區惰性氣體供應,但在半導體廠、氣體供應廠皆備有庫存,且仍有其它地區供應的情況下,短期內不至於造成產線中斷影響產出,不過氣體供應量減少仍將可能造成價格上漲。

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