台積電表示,冰水系統主要由冰水主機、冷卻水泵、冷卻水塔、冰水泵、熱回收等附屬設備所組成,晶圓製程須仰賴冰水系統進行冷卻,穩定無塵室溫濕度以利機台運作;為更精進冰水系統運轉效益,台積電廠務針對冰水單主機、冰水多主機以及冰水系統分別開發機器學習模型,打造三大創新功能,提升設備運轉可靠度、強化能源使用效率。

台積電指出,積極投入綠色創新,除持續針對冰水系統開發節能模型優化運轉效率外,亦評估改造硬體設備,透過軟、硬體雙重升級創造更多節能機會與效益,朝2050年達到淨零排放的永續目標邁進。

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