《半導體》台積電：設備復原率逾7成 EUV等主要機台未受損

此次強震於新竹、龍潭和竹南科學園區的最大震度為5級，台中和台南科學園區則為4級。台積電表示，台灣晶圓廠工安系統正常，為確保人員安全，依內部程序啟動相關預防措施，部分廠區在第一時間進行疏散，並在確認安全後回到工作崗位，詳細影響正在確認中。

基於在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力，並定期進行安全演習以確保萬全準備，台積電指出，在地震發生後僅10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70％，晶圓18廠等新建晶圓廠的復原率更已超過80％。

雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產，但台積電表示，包括所有極紫外（EUV）光刻設備等主要機台皆無受損，已有資源到位以加速達到全面復原、且持續復工中，並與客戶保持密切溝通。台積電將繼續密切監控，並適時與客戶直接溝通相關影響。