外媒报导指出,3M在比利时的冷却剂工厂使用涉及PFAS的半导体冷却剂及部分产品,遭到当地政府法规影响,PFAS产线已经被无限期关闭,该措施自3月8日开始执行,3M已经在3月18日向客户发出正式通知,据传客户群包含台积电、三星、SK海力士及英特尔等全球半导体大厂。
据悉半导体冷却剂主要用在半导体晶圆制造的蚀刻制程当中,并具有高纯化的含氟电子化学品,可应用在乾式或湿式制程当中,不论先进制程或成熟制程,都需要用到半导体冷却剂,国内晶圆制造大厂举凡台积电、联电及世界先进等相关厂商都需用到。
外媒表示,3M在比利时的冷却剂工厂供应全球总产量大约八成,若该产线停产将会影响半导体制造。对于,半导体冷却剂供应可能受阻影响,台湾晶圆制造大厂普遍对此表达有替代方案,不会影响到晶圆制造。
台积电表示,公司与供应链紧密合作,目前不预期会造成影响;联电亦对此指出,公司具有替代方案,因此没有影响;世界先进指出,公司具有多方供应来源,且有库存应对,影响层面不大。
供应链指出,台积电在半导体制造供应链当中,不论是乾式、湿式等制程使用的化学气体、液体,供应商除了欧洲之外,日本、韩国等地亦有,且在台湾生产供应链库存至少都有数月,不受本事件衝击。
事实上,除本次半导体冷却剂事件,先前半导体使用的高纯化稀有气体氖气,由于主要生产国在乌克兰,受乌俄战争影响,供应量也同步受阻,虽晶圆制造大厂都已将库存拉高至6个月,但半导体制造供应链布局全球化,难免还是会受到单一事件或单一地区的影响。
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