设备业：台积关四台EUV 是为升级

上周已有外电报导指出，传闻台积电可能从年底开始关闭部份的EUV设备，一方面是因为市场需求可能出现松动，另一方面则是EUV设备非常耗电。

设备业者指出，像曝光机这类高精密度的半导体机台，就算市场景气不好、客户大幅砍订单，晶圆厂也很少会做出关机的动作。这是因为关机就跟停电一样，所有制程参数都要在重开机后重新再作调整，且无法预期可维持最佳良率。以目前台湾电费算相对便宜的状况下，厂商作出贸然关机的动作，可能性不高。

至于台积电这次将部份EUV曝光机关机，主要是为了进行设备升级，与近期市况无直接关系。

据相关设备业者的说法，台积电3400B及3400C旧机型EUV曝光机，将关机进行升级，调整后将可升级到3600D规格，这样一来单机生产量能可提升约18％，而且设备升级是依原订计画进行，并不是市况不佳而导致关机停产，更不是为了节省电费的目的。