台积买新机 ASML成欧第2大上市公司

荷兰半导体生产设备制造商艾司摩尔（ASML）的最新型「高数值孔径极紫外光曝光机」（High-NA EUV），每台要价高达3.5亿欧元（约新台币123亿元），台积电曾称其过于昂贵，在2026年前使用无太大的经济效益，但如今ASML证实，今年底前将交付此机台设备给台积电。

据美国财经媒体5日报导，ASML发言人透露，财务长达森（Roger Dassen）最近在电话会议中向分析师表示，ASML前两大客户台积电和英特尔（Intel）将于年底前收到高数值孔径EUV。去年12月，英特尔已抢先拿下业界第一台，并在美国俄勒冈州的工厂完成组装，预计2027年启用。

高数值孔径EUV的列印尺寸比现有EUV机台缩小1.7倍，将用于生产驱动人工智慧（AI）应用程式和先进消费电子产品的晶片。这款EUV的重量高达150公吨，相当于2架空中巴士A320客机。

今年5月，台积电欧亚业务资深副总经理张晓强曾在阿姆斯特丹表示：「我喜欢高数值孔径EUV的能力，但我不喜欢它的标价。」他称，台积电2026年下半年将量产的A16（1.6奈米）先进制程节点，不一定要用ASML的最新型EUV，可以继续使用手上较旧款的EUV。

然而，台积电一直积极参与ASML的高数值孔径EUV计画。华尔街投行杰富瑞（Jefferies）的分析师梅农（Janardan Menon）预测，台积电2028年在A14（1.4奈米）制程节点将採用高数值孔径EUV。

在最新型EUV出货消息激励下，ASML欧洲股价5日飙涨8.1％，市值来到3770亿欧元（约4100亿美元），超越法国酩悦轩尼诗-路易威登集团（LVMH），跃升为欧洲市值第2大企业。