应用材料发表AIx平台 加速半导体技术从实验室到工厂的创新突破

应用材料AIx平台适用于所有应用材料公司的制程设备、eBeam测量系统和检测系统，并可从实验室延伸至工厂使用。AIx有能力为研发阶段开发的创新制程程式做特徵採集，加速由研发转移至工厂并提升至大量制造的时程。AIx现今已经用在逻辑和记忆体晶片上，改善晶片的PPACt。

应用材料资深副总裁暨半导体产品事业群总经理帕布．若杰（Prabu Raja）表示，对在半导体生态系统中的所有公司而言，加速PPACt里的t（上市时间）是最大的价值驱动力。AIx以新的方式将应用材料的所有技术能力串联起来，期使能缩短一半的开发时间，改善三分之一的制程容许变异窗口。过去三年来应用材料持续地开发AIx，期能为工程师提供一套全新的工具组以解决我们产业日益复杂的挑战。

应用材料AIx平台包括应用材料制程反应室的新感测器和机器学习演算法ChamberAI，为工程师提供化学、能源、压力、温度和持续时间等变数的即时分析。独特的真空内测量，能够测量沉积时的新薄膜，具有安斯特罗姆级的精度。基于应用材料eBeam测量的独特演算法，测量速度比传统方法提高100倍，解析度提高50％。工程师每小时可获得超过100万次的3D晶圆测量，以奈米等级来评估配方的微小变化如何影响晶片上的设计和结构。

AIx平台包括精选应用材料反应室和系统的数位双模组，这些模组和系统支援虚拟实验，加速配方开发，改进配对和量产传输，并优化大量生产的产出和良率。AIx平台包括使用机器学习和AI演算法储存和分析大量资料所需的运算资源。

应用材料半导体产品事业群集团副总裁拉曼．阿丘塔拉曼（Raman Achutharaman）表示，AIx可运用大数据和人工智慧，在半导体科技生命周期的各个阶段，无论从研发到扩产再到大量制造，都可为客户带来更好的结果。在优化制程程式至最佳的过程中，工程师得面临成千上万种的制程变数，但往往只有少数捉摸不定的关联性才是其中的关键。AIx能识别并放大了这种可操作的数据，满足了工程师理解可调配的关键参数的需求，以加速产品开发的PPACt。

VLSIresearch执行长暨董事长Dan Hutcheson表示，应用材料以AIx平台为制程工程生态系统提供大数据分析，再次为半导体产业增添实际价值。AIx超越过去数十年来以线性数据串流为基础的统计制程控制方法进入一个全新的多维世界，在这里来自3D影像、现场测量和感测器的数据可以被迭加然后萃取成可以採取行动的资讯。应用材料的AIx是一套新的工具组，能加速研发，进而缩短时程，最终能更快获利。