ASML火灾...台积电、三星仍拚扩产 EUV设备挫咧等？

全球半导体生产设备大厂艾司摩尔(ASML)的德国柏林工厂 3 日发生火警，由于ASML为全球供应深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV)微影设备最大供应商，包括台积电、三星电子、英特尔等半导体大厂都是其客户，在全球大扩产、晶片缺货仍相当严重的状况下，恐怕导致关键用料出现供应危机。

据《路透》报导，这间发生火警的工厂原本为ASML 供应商 Berliner Glas所有，后来被ASML收购，主要产品为曝光机生产零组件，包括晶圆台 (wafer tables)、光罩盘 (reticle chucks)、反射镜 (mirror blocks)等。ASML强调，火警所带来的损失对于2022年的生产计画产生的任何影响与评估都还尚早，预估需要几天时间统计，结果会尽快公布。

ASML在先进制程主要领导厂商大力拉货下，2021年第三季财报的销售净额(net sales)为52亿欧元，净收入17亿欧元，毛利率51.7%，新增订单金额62亿欧元，单季EUV曝光机出货量、营收都创新纪录。ASML总裁暨执行长温彼得（Peter Wennink）指出，光是EUV曝光机的营收贡献就占新增订单金额的29亿欧元，客户面对数位转型、晶片短缺的记忆体以及逻辑IC需求仍在高檔。

不过，当时ASML财务长达森（Roger Dassen）也警告，受到供应链一些零组件短缺问题影响，第4季净营收49亿至52亿欧元，比市场预期还低，位于荷兰尔德霍温的工厂也面临一些生产线的问题，主要是机械组装问题，但大部分已经排除。这将导致生产延后，客户还会要求提前交货，代表部份的营收将延至2022年。

ASML当时还给出相当正面的全年度营收成长约35%目标，并指出2020~2030年的年复合营收成长率为11%。

据科技新报报导，TrendForce 初步了解，占地3万2000平方公尺的柏林厂区，有200平方公尺厂区受火警衝击，但随着EUV曝光机交期受到全球供应链瓶颈影响，所有的交货期本来就拉长，加上这个厂区影响部分主要供应EUV曝光机的零组件，不排除ASML会优先分配产能用以支援晶圆代工设备订单的可能性，这段时间ASML也可能向其他厂区拉货，整体影响有待公司公布才能得知。