随半导体厂商持续在台投资高阶制程，带动供应链在地化的群聚效应，吸引国际大厂纷纷来台投资建厂，加上近年5G、物联网、车用电子等应用晶片需求强劲，半导体业者积极扩厂增加产能，致我国半导体设备产值自101年逐年成长，110年突破千亿规模，达1186亿元，较109年大增33.6%，近10年(101年~110年)半导体设备产值平均年增17.7%。
今年上半年受惠车用电子、高效能运算(HPC)等应用需求仍然热络，半导体业者持续加大扩产脚步，带动前8月半导体设备产值865亿元，年增加16.5%，展望第4季，虽全球经济动能趋缓，半导体业者开始调整延后部分投资计画，但今年产值仍可望突破千亿规模。
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