该公司产品主要为半导体臭氧供气系统、远端电浆源、射频电源系统及技术维修服务,主要应用于半导体制程中的化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)等关键制程。藉由射频电源、臭氧系统与远程电浆源等领域的技术领先优势,明远精密成功建立差异化市场定位。

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