拜登再挡ASML出货陆企 中芯先进制程能靠12亿美元大单？

半导体设备大厂荷兰商艾司摩尔（ASML）独家供应的极紫外光(EUV)微影设备，成为晶圆代工领域跨入先进制程技术的关键设备，随着全球半导体供应链因陆美竞争开始变化，大陆晶圆代工龙头中芯国际原先订购的EUV机台至于不见踪影。外媒指出，拜登政府延续前朝政策，依旧不把任何1台EUV机台出货给陆企。

中芯国际2018年跟ASML订购EUV机台，但却在2019年遭到川普政府出手阻挠，导致中芯国际无法取得至关先进制程发展的EUV机台。当时ASML回应，是为了遵守《瓦圣纳协议》，须等待荷兰政府审核出口许可，才能出货中芯国际。不过，中芯国际今年3月重新跟ASML签约，12亿美元的订单，主要用来採购深紫外光(DUV)微影设备，期限到今年底。

据《华尔街日报》报导，ASML的设备为英特尔、三星电子以及苹果晶片供应商台积电生产先进制程晶片，大陆也希望国内的晶片制造商可以取得这台要价1.5亿美元的设备，替华为这些陆企制造晶片，但由于美国政府的压迫，荷兰政府没有发放EUV机台出口至大陆的许可证。

有美国官员指称，拜登政府出于国家安全考虑，已要求荷兰政府限制销售EUV机台，延续了川普政府的政策。ASML执行长Peter Wennink曾表示，出口管制恐适得起反，有关半导体领先地位做为国家战略的一部分，各国政府需要考虑清楚的是，如果过度禁止，将阻碍该产业研发与创新能力。

川普政府时期的国家安全顾问Charles Kupperman曾在2019年邀请荷兰外交官前往白宫会谈，他回忆当时情况，当时他对荷兰外交官指出，盟国间不该出受这类设备给大陆，如果没有美国提供零组件，ASML就无法运转，并且白宫有权限限制向荷兰出口这些零组件。实际上，ASML旗下负责生产关键零组件的公司，就是美国企业。

报导指出，目前白宫不打算对荷兰施加新的压力，打算透过合作方式对出口管制达成共识，但这可能导致包括ASML等半导体生产设备商面临供应困境，导致本来就相当紧绷的半导体供应链更加充满危机。

ASML为20世纪90年代从荷兰大型科技公司皇家飞利浦(Royal Philips NV)分拆出来，该公司专门生产用于刻蚀工艺的半导体生产设备。

目前ASML的EUV机台运用在台积电、三星电子量产5奈米制程晶片，甚至延用至3奈米制程，这也成为2大晶圆代工厂争取客户採用的关键设备，如今英特尔宣布启动IDM 2.0计画，也将大量採用EUV技术制造晶片。至于中芯国际，因无法取得ASML的EUV机台，目前先进制程研发在14奈米、N+1、N+2制程止步，让市场传闻包括中芯国际等陆企在市场大量收购二手设备。

由于台积电曾用DUV的193nm浸润式ArF微影及多重曝光，生产早期7奈米制程，中芯国际3月这份与ASML签订的DUV机台12亿美元大单，是否能顺利到货，成为中芯国际发展先进制程的关键。